| 超精细 | |||||||
|---|---|---|---|---|---|---|---|
| C8-2.0-2.0 | 测量范围um | 近端间隙um | 分辨力nm | 线性度FS% | |||
| 带宽Hz | nm | 0.15% | |||||
| 10 | 20 | 100 | 0.2 | ||||
| 15K | 0.4 | ||||||
Lion传感器指标
| 精细 | |||||||
|---|---|---|---|---|---|---|---|
| C8-2.0-2.0 | 测量范围um | 近端间隙um | 分辨力nm | 线性度FS% | |||
| 带宽Hz | nm | 0.15% | |||||
| 50 | 75 | 100 | 1.0 | ||||
| 15K | 2.0 | ||||||
| 标准 | |||||||
|---|---|---|---|---|---|---|---|
| C8-2.0-2.0 | 测量范围um | 近端间隙um | 分辨力nm | 线性度FS% | |||
| 带宽Hz | nm | 0.10% | |||||
| 250 | 125 | 100 | 4.5 | ||||
| 15K | 9.0 | ||||||
| 延伸 | |||||||
|---|---|---|---|---|---|---|---|
| C8-2.0-2.0 | 测量范围um | 近端间隙um | 分辨力nm | 线性度FS% | |||
| 带宽Hz | nm | 0.15% | |||||
| 500 | 125 | 100 | 9.0 | ||||
| 15K | 18.0 | ||||||
注:
- 传感器测量范围分为超精细、精细、标准和延伸四个范围。CPL290驱动器电箱，具有两个测量范围， 使用时根据需要选择。CPL190，一个测量范围。
- 标注的分辨力是RMS值，通常情况峰峰差值是RMS值10倍。10K带宽完全采样。
- 近端间隙是指测头表面距离被测物体的最近距离。